euv光刻机目前几纳米（中国5纳米光刻机突破了吗）

众所周知，芯片制造的核心设备之一是光刻机。现在，世界上最先进的掩模光刻机是荷兰ASML的euv掩模光刻机。EUV光刻机目前是多少纳米？

到目前为止，世界上最先进的光刻机可以实现5nm的加工。也就是荷兰ASML的极紫外光刻(EUV)，这是目前光刻机中最顶尖的设备。

在芯片加工中，光刻机利用一系列光源能量和形状控制手段，通过带有电路图的掩膜板传输光束。

光刻设备涉及系统集成、精密光学、精密运动、精密材料传输和高精度微环境控制等多项先进技术。是半导体行业技术含量最高的设备。

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